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Maschinentechnisches Praktikum (Subject) / REM (Lesson)
- Anwendungen Charakterisierung submikroskopischer Strukturen Produktionsüberwachung Fehlerursachenanalyse
- Probenvorbereitung fettfrei, wasserfrei, schmutzfrei, je nach Anwendung poliert Aufbereitung muss Vakuum standhalten leitend machen (mit Gold bedampfen) beim Aufkleben leitfähigen Kleber verwenden
- Vorteile gegenüber LIMI höhere Genauigkeit höhere Auflösung mehr Tiefenschärfe
- Einfluss der Blendengröße kleine Blende: mehr Tiefenschärfe große Blende: höherer Kontrast
- Wie kann man cps erhöhen? Erhöhung der Kathodenspannung Vergrößerung der Blende
- Funktionsweise Festkörper mit Elektronen hinreichend großer Energie bestrahlen führt zu Wechselwirkungsprozessen Mit Detektionssystem werden Signale erfasst und zur Bilderzeugung genutzt
- Aufbau Elektronenquelle (beheizte Kathode) Beschleunigungssystem (elektrisches Feld) Kondensorlinse zur Formung des Elektronenstrahls Objektivlinse mit Rastereinheit Detektoren
- EDX-Analyse Elementnachweis ab Bor Oberfläche muss glatt sein thermisches Rauschen wird durch Temperaturregelung (-20°C) minimiert Atome werden durch Elektronen angeregt angeregte Atome emittieren charakteristische Röntgenstrahlung detektierte Röntgenstrahlung lässt Rückschlüsse auf das Element zu
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