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MST-Techno (Subject) / Einführung (Lesson)
Verständnisfragen Vorlesung Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I
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- Wie groß sind in der heutigen Mikroelektronik die kleinsten Strukturen in der Produktion? 22nm
- Mit welcher Wellenlänge werden die kleinsten Strukturen in der Mikroelektronik bei der Belichtung derzeit in der Produktion hergestellt? 193nm
- Nennen Sie mindestens zwei Mikroelektronik-Komponenten zusammen mit deren Einsatzgebiet aus dem Bereich „Computer & Informationstechnik“. Transistoren (Prozessoren/komplizierte Schaltungen) Diode (Schutzschaltungen, Gleichrichter, Photodioden) ?
- Nennen Sie mindestens zwei Mikrosystemtechnik-Komponenten zusammen mit deren Einsatzgebiet aus dem Bereich „Computer & Informationstechnik“. Schreib/Lesekopf (Festplatten Speicherzugriff) Druckkopf (Drucker) (Cochlea-Implantat)
- Nennen Sie mindestens zwei Mikrosystemtechnik-Sensoren zusammen mit deren Einsatzgebiet aus dem Bereich der „Automobilindustrie“. Drehraten, Druck, Beschleunigungssensor
- Die Herstellung von mikroelektronischen Schaltkreisen und Mikrosystemtechnik Produkten in Siliziumtechnologie erfolgt in der Regel durch zyklische Wiederholung einer bestimmten Prozessabfolge (Technologiekreislauf). Zeichen Sie ein Technologiekreislaufschema und benennen Sie die wesentlichen Prozessschritte innerhalb eines Technologiekreislaufes. Reinigen Abscheiden --> Schichterzeugung --> Lithografie --> Strukturübertragung --> Reinigen/Strippen Vereinzeln und Gehäusen
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