MST-Techno (Fach)
In diesem Fach befinden sich 6 Lektionen
- Dünnschichttechnik 41 dünne Schichten
- Materialien 32 VL Techno I
- Lithografie 26 Litho
- Schichtabtragung durch Ätzen 24 ätzend
- Gesamtprozesse 11 gesamt
- Einführung 6 Verständnisfragen Vorlesung Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I