mikrotechnik (Fach) / mikrotechnik (Lektion)
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mikrotechnik
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- Nenne 2 Ätzstoppverfahren beim Anisotrophen Ätzen? Ätzlösung: UOH im hochselektiven Verfahren mit dem Ätzstopp: Isolatorschicht SiO2 Ätzlösung: UOH im elektrochemisches Verfahren mit dem Ätzstopp: pn Übergang in Sperrichtung gepolt