Werkstoffkunde (Fach) / Klausur Werkstoffkunde TRB1 (Lektion)

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Vorderseite Beschreiben Sie, wie in der IC-Technologie gezielt ein pn-Übergang auf monokristalinem Silicium realisiert wird.
Rückseite

1. SiO2-Scheibe mit Sauerstoff oxidieren

2. Resist aufbringen

3. Belichten durch Maske = Lithographie

4. belichteter Resist herauslösen

5. SiO2 wegätzen

6. Dotieren

7. Al-Metallisierung

(Schritt 1-6 wird x-mal wiederholt)

Diese Karteikarte wurde von seb erstellt.

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