Beschichtungstechnik (Fach) / Fragen aus Vorlesung (Lektion)

Vorderseite Wie funktioniert die Schwingquarzmethode und wofür wird sie angewendet? Skizze!
Rückseite

- In-situ-Messung- Beim Anlegen einer Spannung deformiert sich der Kristall ⇒ Elektrostriktiono Quarz schwingt- Setzt der Bedampfungsprozess ein, wird auch der Schwingquarzbedampft⇒ Masseänderung ⇒ Frequenzänderung des Quarz- FResonanz hängt stark von der Temperatur ab ⇒ Quarz muss temperiert werden

  • 𝑅 𝑑/𝑑𝑡 d – Schichtdicke [nm]; R – Aufdampfrate [nm/s]

- Nachteil: Schwingquarz und Substrat werden unterschiedlich beschichtet ⇒ Kalibrierung erforderlich

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