Wie funktioniert die Schwingquarzmethode und wofür

Beschichtungstechnik (Fach) / Prüfungsvorbereitung (Lektion)

zurück | weiter

Vorderseite Wie funktioniert die Schwingquarzmethode und wofür wird sie angewendet? Skizze!

Rückseite

In-situ-Messung
Beim Anlegen einer Spannung deformiert sich der Kristall ⇒ Elektrostriktion ⇒ Quarz schwingt
Setzt der Bedampfungsprozess ein, wird auch der Schwingquarzbedampft ⇒ Masseänderung ⇒ Frequenzänderung des Quarz
F_Resonanz hängt stark von der Temperatur ab ⇒ Quarz muss temperiert werden
𝑅=Δ𝑓* 𝑑/𝑑𝑡* d – Schichtdicke [nm]; R – Aufdampfrate [nm/s]
Nachteil: Schwingquarz und Substrat werden unterschiedlich beschichtet  Kalibrierung erforderlich

Diese Karteikarte wurde von rekrum erstellt.