Beschichtungstechnik (Fach) / Prüfungsvorbereitung (Lektion)

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Vorderseite Was ist PVD, CVD?
Rückseite

PVD (Physical Vapour Deposition), dt. physikalische Abscheidung aus der Dampfphase

  • Dampf wird physikalisch erzeugt (Wärme, Impuls, …)
  • Verfahren: Aufdampfen, Sputtern, Ionenplattieren

CVD (Chemical Vapour Deposition), dt. chemische Abscheidung aus der Dampfphase

  • Dampf wird chemisch erzeugt
  • Verfahren: thermisches CVD, plasmaaktiviertes CVD, photonenaktiviertes CVD

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